Nikon Metrología Interferometría
 
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Serie BW: perfilador de superficies sub-nanométricas preciso con medición sin contacto

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca serie BWLa tecnología de medición de interferencia óptica de tipo escaneo patentada por Nikon logra una resolución de altura de 1 picómetro (pm). Nikon ofrece una variedad de microscopios ópticos como sistemas de medición para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones de medición.

Beneficios y características

 

Rendimiento superior de medición

  • Realiza mediciones de nivel de 0,1 nm de superficies ultrasuaves sin proceso de promediado ni filtrado.

  • Permite mediciones con la misma resolución de altura en una amplia gama de aumentos.

  • Permite la medición de superficies lisas y rugosas sin cambiar el modo de medición o los filtros ópticos.

  • Captura tanto una imagen enfocada como una imagen de la altura de la superficie.


Amplia gama de métodos de observación.

 

El sistema se puede utilizar como microscopio óptico. Es posible realizar observaciones de campo claro, polarización, DIC y fluorescencia


Oblea de SiC: medición de nivel sub-nano en una amplia gama de aumentos

 

Tipo: sistema BW-D501

Asunto: oblea de carburo de silicio (SiC)

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca carburo de silicio SiC Wafer 2 5x serie BW 

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca carburo de silicio SiC Wafer 5x serie BW

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Carburo de silicio SiC Wafer 10x BW Series

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Carburo de silicio SiC Wafer 20x BW Series

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Carburo de silicio SiC Wafer 50x BW Series

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Carburo de silicio SiC Wafer 100x BW Series

 


Medición de nanonivel del filo de la navaja con lente de gran aumento

 

Asunto: Filo de navaja

microscopios industriales de metrología nikon microscopio interferométrico de luz blanca con borde de navaja serie BW 


 

Rugosidad de la superficie del papel (sintético, normal, brillante, mate)

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Rugosidad de la superficie del papel sintético Serie BW Rugosidad de la superficie del papel sintético

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Rugosidad de la superficie del papel brillante Serie BW Rugosidad de la superficie del papel brillante

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Rugosidad de la superficie del papel normal Serie BW Rugosidad de la superficie del papel normal

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Rugosidad de la superficie del papel mate Serie BW Rugosidad de la superficie del papel mate


 

Rugosidad superficial de la cerámica

 

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Rugosidad de la superficie de la cerámica Serie BW 


Tipo: sistema BW-A501

Asunto: Membrana de diamante sintetizado mediante deposición de vapor químico de plasma en líquido

Fotos cortesía de: Ph.D. Hiromichi Toyota, Facultad de Ciencias e Ingeniería de la Universidad de Ehime

 

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Medición de superficie precisa Serie BW

 


Paquete IC: medición de rango micrométrico en una amplia gama de aumentos

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Paquete IC Medición del rango del micrómetro en una amplia gama de aumentos Serie BW 


Calibración de altura con el estándar VLSI certificado por NIST

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca Certificado de calibración Serie BW 


Sistema BW-D501

nikon metrology microscopios industriales microscopio interferométrico de luz blanca sistema BW D501 serie BW 

 

Especificaciones

  Modelo de alta resolución de píxeles
 
BW-S501 BW-S502   BW-S503 BW-S505 BW-S506 BW-S507
Sistema óptico de medición Variación del enfoque con interferometría de luz blanca (FVWLI)
Resolución de altura (algoritmo) 1pm (0.001 nm)
Reproducibilidad de la medición de la altura del escalón σ: medición de la altura del escalón de 8 nm / 8 m
Número de píxeles 2046 x 2046, 1022 x 1022 (seleccionable mediante software)
Tiempo de medición de altura 38s, escaneo de 16s/10μm
Rango de medición de altura
<90 μm <20 mm   <90 μm <20 mm  
Tamaño del campo de medición(usando 2.5X) <4448 x 4448 μm *
Actuador piezoeléctrico
Accionado por objetivo Accionado revolver
Eje Z
Manual Eléctrico   Manual Eléctrico  
Eje XY
Manual   Eléctrico Manual   Eléctrico
Software Módulos de software Bridgelements®
   
  Modelo de alta velocidad
 
DW-S501 DW-S502   DW-S503 DW-S505 DW-S506 DW-S507
Resolución de altura (algoritmo) 1pm (0.001 nm)
Reproducibilidad de la medición de la altura del escalón σ: medición de la altura del escalón de 8 nm / 8 m
Número de píxeles 510 x 510
Tiempo de medición de altura Escaneo de 4s/10μm
Rango de medición de altura
<90 μm <20 mm   <90 μm <20 mm  
Tamaño del campo de medición <2015 x 2015 μm *
Actuador piezoeléctrico
Accionado por objetivo Accionado revolver
Eje Z
Manual Eléctrico   Manual Eléctrico  
Eje XY
Manual   Eléctrico Manual   Eléctrico
Software Módulos de software Bridgelements®
   

* El rango se puede ampliar cambiando la lente del relé o pegando imágenes.


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