Nikon Metrología Microscopio Confocal
 
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Tecnología óptica en su máxima expresión: Optelics HYBRID Confocal multifuncional y de alto rendimiento con óptica Nikon

nikon metrology microscopio industrial microscopio confocal lasertecWhite Light Confocal + Laser ConfocalConfocal de Luz Blanca + Confocal Láser

 

En 1985, Lasertec lanzó el primer microscopio de barrido láser confocal RBG. Décadas más tarde, el Optelics HYBRID Confocal con la óptica legendaria de Nikon continúa con el legado.

 

Con dos juegos de óptica confocal combinados con funciones adicionales, este microscopio realiza múltiples tareas que normalmente requieren varias herramientas diferentes, incluida la interferometría, el contraste de interferencia diferencial, la reflectometría espectroscóptica y la medición del espesor de la película. Es el primer microscopio confocal multifuncional y de alto rendimiento de este tipo del mundo, listo para satisfacer sus necesidades de inspección.

 

6 funciones avanzadas de imágenes en una

 

Optelics HYBRID ofrece una variedad de ópticas confocales únicas que no encontrará en ningún otro lugar. Con dos fuentes de iluminación, luz blanca y láser, el Optelics HYBRID ofrece un microscopio de vanguardia con imágenes a todo color de 24 bits. Optelics Hybrid proporciona conmutación de canal de longitud de onda. Las longitudes de onda RGB se pueden detectar de forma simultánea y separada, lo que brinda la capacidad de obtener imágenes de las muestras más desafiantes.

 

Con un método de escaneo de luz patentado y un campo de visión de hasta 15 mm, el Optelics HYBRID maximiza el rendimiento de la lente de objetivo de gran apertura y bajo aumento.

 

nikon metrology microscopio industrial microscopio confocal lasertec sección transversalEl primero de su tipo, HYBRID ofrece 6 funciones en un solo cuerpo:El primero en su clase, HYBRID ofrece 6 funciones en un solo cuerpo

  • Confocal de luz blanca

  • Láser confocal

  • Interferómetro de luz blanca escaneado verticalmente

  • Interferómetro de cambio de fase

  • Medición espectroscópica del espesor de la película por reflectometría

  • Observación de contraste de interferencia diferencial

 

La ventaja híbrida de Optelics

  • Más rápido: con una frecuencia de cuadro de 15 Hz, el Optelics Hybrid es aproximadamente 4 veces más rápido que un CLSM típico. Esto lo convierte en una herramienta poderosa para la medición automática de alta velocidad, el mosaico y la observación de video de alta velocidad.

  • Campo de visión más amplio (FOV): con un FOV de hasta 15 mm de ancho, Optelics HYBRID ofrece una amplia cobertura tanto para la observación como para la medición.

  • Más precisa: la óptica confocal ofrece imágenes de alta resolución y alto contraste con una mínima interferencia de luz dispersa. Esto permite que Optelics HYBRID proporcione mediciones de alta precisión en x, y y z.


Funciones analíticas y de medición

 

Optelics HYBRID puede completar múltiples tareas y funciones que anteriormente requerían una variedad de herramientas, ofreciendo una eficiencia sin precedentes junto con una precisión y exactitud excepcionales. Algunas aplicaciones HÍBRIDAS incluyen:

 

nikon metrología microscopio industrial microscopio confocal lasertecMedición de perfil y comparación

 

Capacidad para medir y comparar parámetros de muestra.

 

Medida de ancho e inclinación

 

Ideal para medir anchos de línea de patrones de semiconductores con precisión y repetibilidad líderes en la industria.

 

Medición de rugosidad superficial

 

La medición de rugosidad de alta resolución es posible para cualquier muestra, gracias a la medición precisa sin contacto del Optelics HYBRID.

 

Análisis de propiedades geométricas

 

Optelics HYBRID tiene la capacidad de analizar más de 20 propiedades, incluido el área, el volumen, el centro de gravedad y más.

 

Medición 2D

 

Mida características bidimensionales como longitud, ángulos, radio y recuento de características.

 

Medida de diferencia de altura

 

Medición del parámetro Z en el área especificada por el usuario.

 

Medición de espesor de película

 

Optelics HYBRID calcula ópticamente la distancia entre la superficie de la película y la superficie del sustrato utilizando microscopía confocal / reflectometría espectroscópica


Funciones opcionales para sus necesidades específicas

 

nikon metrology microscopio industrial pie de microscopio confocal El Optelics Hybrid puede personalizarse según sus necesidades específicas. Desde software automatizado para ayudarlo a inspeccionar las piezas más rápidamente hasta una platina motorizada para una mayor eficiencia, existen muchas opciones para ayudarlo a aprovechar al máximo su microscopio.

 

Estas son solo algunas de las opciones:

  • Software de medición automática

  • Software de autoinspección

  • Etapa motorizada

  • Etapa de inclinación

  • Escenario grande / especial

  • Soporte electrostático

Especificaciones
Modelo/Especificación
Funciones básicas Multifunciones Diversas Aplicaciones
Modelo básico C3 Modelo estándar L3 Alto desempeño L7
Confocal de luz blanca Confocal de luz blanca
Confocal de láser
Confocal de luz blanca
Confocal de láser
Contraste Diferencial Interferencial
Medición de Interferencia Óptica
Medición de espesor de películar por espectrometría de reflexión.
   
Fuente de luz
Láser - 405nm 405nm
Xenón/Hg-XE R,G,B R,G,B

436nm, 486nm, 514nm, 546nm 578nm, 633nm, Luz blanca

Campo de observación/aumento
  Objetivo Aumento en Pantalla CDO (HxV)
Luz Blanca 1x 18.5x 15,000µm x 15,000µm
2.5x 46.2x 6,000µm x 6,000µm
5x 92.5x 3,000µm x 3,000µm
10x 185x 1,500µm x 1,500µm
20x 370x 750µm x 750µm
50x 925x 300µm x 300µm
100x 1,850x 150µm x 150µm
150x 2,775x 100µm x 100µm
Láser 50x - 1,850 | 150µm x 150µm
100x - 3,700x | 75µm x 75µm
150x - 5,500x | 50µm x 50µm
Zoom
  1 - 8x
Memoria Cuadro
Brillo

1,024 x 1,024 x 12 bits/modo de alta definición 2,048 x 2,048 x 12bit

Altura

1,024 x 1,024 x 12 bits/modo de alta definición 2,048 x 2,048 x 12bit

Frecuencia de cuadro
  15Hz - 120Hz
Medición de Ancho
Unidad mínima de medición 0.001µm
Precisión

± [0.02 x (100/aumento del objetivo) + L / 1000] μm

Repetibilidad (3σ) ¹

10nm
Medicion de Altura
Resolución 0.1nm
Precisión

± (0,11 + L / 100) μm

Repetibilidad (σ) ²

10nm

Rango de medición ³

7nm
Viaje en Z
  100mm | 80mm
Revolver
 

Revólver motorizado de 5 posiciones (con reconocimiento automático de la posición de la lente)

Platina XY
Manual                  |  -
Motorizado Opciones
Observación de Contraste Diferencial Interferencial
  Opcional
Medición de interferencia Óptica
  Opcional
Medición Espectroscopía Reflexión
  Opcional

¹ Basado en la medición del patrón de referencia usando 150x (NA0.95) sin condiciones de vibración.

² Basado en la medición de los estándares de altura de escalones de los estándares VLSI usando 100x (NA0.95) sin condiciones de vibración.

³ Hasta la distancia máxima de movimiento de la lente del objetivo

Software
Captura de imágenes

Patchwork, modo HDR, pico de búsqueda, primer pico, ganancia múltiple, etc.

Funciones básicas

Medición de altura, ancho de línea y rugosidad de la superficie (JIS, ISO) y visualización 3D

Procesamiento de imágenes Filtro, corrección de inclinación, binarización, eliminación de nariz, conversión de profundidad de bits, conversión de tamaño, balance de color, etc.
Cálculo de propiedades geométricas

Aproximadamente 20 propiedades que incluyen área, volumen, área de superficie, diámetro de Feret, centro, redondez, longitud máxima, relación de aspecto, etc.

Generación de reportes

Diseño, base de datos de imágenes, plantilla, conversión por lotes de extensión de archivo

   
Consumo
  CA 100-240V, 50/60Hz 1,500VA
Dimensiones y Peso
Microscopio 382 (W) x 511 (D) x 669 (H) mm 41kg
Unidad de control 431 (W) x 450 (D) x 106 (H) mm 7.1kg
Fuente de luz 142 (W) x 311 (D) x 227 (H) mm 6.7kg
PC 175 (W) x 417 (D) x 360(H) mm 9.6kg
Trazabildad
   

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